Please use this identifier to cite or link to this item:
https://publication.npru.ac.th/jspui/handle/123456789/209| Title: | การเตรียมชั้นฟิล์มบางอะลูมิเนียมสำหรับการสร้างรูพรุนนาโนอะลูมิเนียมออกไซด์ |
| Authors: | ทัศน์เจริญ, ศุภรัตน์ ลิ้มนนทกุล, ภูริศรา ห่อประทุม, มติ แก้วขาว, จักรพงษ์ |
| Keywords: | ฟิล์มบางอลูมิเนียม รูพรุน อลูมิเนียมออกไซด์ |
| Issue Date: | 31-Mar-2559 |
| Abstract: | โครงสร้างรูพรุนนาโนอะลูมิเนียมออกไซด์ได้ทำการเตรียมจากฟิล์มอะลูมิเนียมที่เคลือบลงบนแผ่นซิลิกอนเวเฟอร์ ระนาบ (100) ด้วยกระบวนการอะโนไดเซชั่นแบบ 2 ขั้นตอน ในสารละลายออกซาลิก 0.3 โมลาร์ โดยในงานวิจัยนี้จะ ทำการศึกษาผลกระทบของการอบชั้นฟิล์มอะลูมิเนียมที่ส่งผลต่อขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง ระยะห่างระหว่างรูพรุน ความสูง ของโครงสร้างรูพรุนนาโนอะลูมิเนียมออกไซด์ ด้วยการวิเคราะห์ลักษณะทางกายภาพจากกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม และ กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด จากผลการทดลองพบว่าการอบชั้นฟิล์มอะลูมิเนียมก่อนทำการอะโนไดเซชั่นจะ ส่งผลต่อการทำให้เกิดโครงสร้างรูพรุนนาโน โดยรูพรุนอะลูมิเนียมออกไซด์ที่พัฒนาขึ้นนี้จะมีขนาดเฉลี่ยเส้นผ่านศูนย์กลาง เท่ากับ 37 นาโนเมตร ความลึกเท่ากับ 805 นาโนเมตร และ ระยะห่างระหว่างหลุมเท่ากับ 115 นาโนเมตร |
| URI: | https://publication.npru.ac.th/jspui/handle/123456789/209 |
| Appears in Collections: | Proceedings of the 11th NPRU National Academic Conference |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| ศุภรัตน์ ทัศน์เจริญ.pdf | 2.26 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.