Please use this identifier to cite or link to this item:
https://publication.npru.ac.th/jspui/handle/123456789/209Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | ทัศน์เจริญ, ศุภรัตน์ | - |
| dc.contributor.author | ลิ้มนนทกุล, ภูริศรา | - |
| dc.contributor.author | ห่อประทุม, มติ | - |
| dc.contributor.author | แก้วขาว, จักรพงษ์ | - |
| dc.date.accessioned | 2018-12-07T07:32:56Z | - |
| dc.date.available | 2018-12-07T07:32:56Z | - |
| dc.date.issued | 2559-03-31 | - |
| dc.identifier.uri | https://publication.npru.ac.th/jspui/handle/123456789/209 | - |
| dc.description.abstract | โครงสร้างรูพรุนนาโนอะลูมิเนียมออกไซด์ได้ทำการเตรียมจากฟิล์มอะลูมิเนียมที่เคลือบลงบนแผ่นซิลิกอนเวเฟอร์ ระนาบ (100) ด้วยกระบวนการอะโนไดเซชั่นแบบ 2 ขั้นตอน ในสารละลายออกซาลิก 0.3 โมลาร์ โดยในงานวิจัยนี้จะ ทำการศึกษาผลกระทบของการอบชั้นฟิล์มอะลูมิเนียมที่ส่งผลต่อขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง ระยะห่างระหว่างรูพรุน ความสูง ของโครงสร้างรูพรุนนาโนอะลูมิเนียมออกไซด์ ด้วยการวิเคราะห์ลักษณะทางกายภาพจากกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม และ กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด จากผลการทดลองพบว่าการอบชั้นฟิล์มอะลูมิเนียมก่อนทำการอะโนไดเซชั่นจะ ส่งผลต่อการทำให้เกิดโครงสร้างรูพรุนนาโน โดยรูพรุนอะลูมิเนียมออกไซด์ที่พัฒนาขึ้นนี้จะมีขนาดเฉลี่ยเส้นผ่านศูนย์กลาง เท่ากับ 37 นาโนเมตร ความลึกเท่ากับ 805 นาโนเมตร และ ระยะห่างระหว่างหลุมเท่ากับ 115 นาโนเมตร | en_US |
| dc.subject | ฟิล์มบางอลูมิเนียม | en_US |
| dc.subject | รูพรุน | en_US |
| dc.subject | อลูมิเนียมออกไซด์ | en_US |
| dc.title | การเตรียมชั้นฟิล์มบางอะลูมิเนียมสำหรับการสร้างรูพรุนนาโนอะลูมิเนียมออกไซด์ | en_US |
| Appears in Collections: | Proceedings of the 11th NPRU National Academic Conference | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| ศุภรัตน์ ทัศน์เจริญ.pdf | 2.26 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.