การเตรียมเป้าสารเคลือบออกไซด์ของสังกะสีเจือด้วยอลูมิเนียมสำหรับการเคลือบฟิล์มบาง ระบบ อาร์-เอฟ แมกนีตรอนสปัตเตอริ่ง

Abstract

เป้าสารเคลือบของสารประกอบออกไซด์ของสังกะสีเจือด้วยอลูมิเนียม 2 เปอร์เซ็นต์โดยน้ำหนักถูกเตรียมขึ้นโดย กระบวนการปฏิกิริยาของของแข็ง โดยสารตั้งต้นเป็นสารประกอบออกไซด์ของสังกะสีและออกไซด์ของอลูมิเนียมซึ่งถูกผสม และบด ก่อนถูกอัดเป็นแผ่นกลมขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 63 เซนติเมตร หนา 8 มิลลิเมตร และถูกเผาผนึกที่อุณหภูมิ 1,400 องศาเซลเซียส ในบรรยากาศนาน 5 ชั่วโมง หลังจากนั้นนำเป้าสารเคลือบที่เตรียมได้ไปวิเคราะห์โครงสร้างความเป็นผลึกโดย ใช้เทคนิคการเลี้ยวเบนด้วยรังสีเอกซ์ พบว่ามีโครงสร้างผลึกที่ดี และนำมาทดลองเคลือบฟิล์มบางด้วยเทคนิคแมกนีตรอน สปัตเตอริ่ง โดยใช้เวลาในการเคลือบ 1 และ 2 ชั่งโมง และเผาในสุญญากาศที่อุณหภูมิ 500 องศาเซลเซียส นาน 1 ชั่วโมง แล้วนำมาวิเคราะห์โครงสร้างความเป็นผลึกของฟิล์ม พบว่ามีโครงสร้างของสารประกอบออกไซด์ของสังกะสีเจือด้วยอลูมิเนียม โดยความเป็นผลึกจะเพิ่มมากขึ้นเมื่อเวลาในการเคลือบฟิล์มเพิ่มมากขึ้น